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上海碩涵半導體設備有限公司
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　　上海碩涵半導體設備有限公司是專業從事等離子電源設備和射頻匹配器的服務型企業，公司位于上海寶山北外環科技園。 
　　公司為全國各地區的半導體、數據存儲、平板顯示器、太陽能電池、建筑玻璃、等行業業提供等離子電源，匹配器的維修和調試，升級，交換，咨詢服務。
　　主要維修品牌：AE 、ENI（MKS） 、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTEC 、SEREN 、 HUTTINGER。技術人員有AE公司八年以上工作經驗，累計維修電源和匹配器約2000臺，有MKS原廠工作十年的資深工程師。公司維修所采用的零部件等材料均為原裝進口。公司服務宗旨是：“精益求精，品質”。維修最快可以當天完成，公司提供更長的質保期和更優質的保修服務。